|
Gas sensing properties of epitaxial SnO2 thin films prepared by atomic layer deposition |
|
|
|
Titel: |
Gas sensing properties of epitaxial SnO2 thin films prepared by atomic layer deposition |
Auteur: |
Rosental, A. Tarre, A. Gerst, A. Sundqvist, J. HÃ¥rsta, A. Aidla, A. Aarik, J. Sammelselg, V. Uustare, T. |
Verschenen in: |
Sensors and Actuators. B, Chemical |
Paginering: |
Jaargang 93 (2003) nr. 1-3 pagina's 4 p. |
Jaar: |
2003 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|