|
Finite element analysis and experiments on a silicon membrane actuated by an epitaxial PZT thin film for localized-mass sensing applications |
|
|
|
Titel: |
Finite element analysis and experiments on a silicon membrane actuated by an epitaxial PZT thin film for localized-mass sensing applications |
Auteur: |
Isarakorn, D. Briand, D. Sambri, A. Gariglio, S. Triscone, J.-M. Guy, F. Reiner, J.W. Ahn, C.H. de Rooij, N.F. |
Verschenen in: |
Sensors and Actuators. B, Chemical |
Paginering: |
Jaargang 153 (2011) nr. 1 pagina's 10 p. |
Jaar: |
2011 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|