|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 31 gevonden artikelen
| Titel: |
A numerical and experimental study on gap compensation and wavelength selection in UV-lithography of ultra-high aspect ratio SU-8 microstructures |
| Auteur: |
Yang, Ren Wang, Wanjun |
| Verschenen in: |
Sensors and Actuators. B, Chemical |
| Paginering: | Jaargang 110 (2005) nr. 2 pagina's 10 p. |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 31 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |