|
Chemical warfare agent sensor using MEMS structure and thick film fabrication method |
|
|
|
Titel: |
Chemical warfare agent sensor using MEMS structure and thick film fabrication method |
Auteur: |
Choi, Nak-Jin Lee, Yun-Su Kwak, Jun-Hyuk Park, Joon-Shik Park, Kwang-Bum Shin, Kyu-Sik Park, Hyo-Derk Kim, Jae-Chang Huh, Jeung-Soo Lee, Duk-Dong |
Verschenen in: |
Sensors and Actuators. B, Chemical |
Paginering: |
Jaargang 108 (2005) nr. 1-2 pagina's 7 p. |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|