|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 27 van 32 gevonden artikelen
| Titel: |
Si micro-cantilever sensor chips for space-resolved stress measurements in physical and plasma-enhanced chemical vapour deposition |
| Auteur: |
Grochla, Dario Banko, Lars Pfetzing-Micklich, Janine Behm, Henrik Dahlmann, Rainer Ludwig, Alfred |
| Verschenen in: |
Sensors and Actuators. A, Physical |
| Paginering: | Jaargang 270 (2018) nr. C pagina's 271-277 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 27 van 32 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |