|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 34 gevonden artikelen
| Titel: |
Effects of gas ring position and mesh introduction on film quality and thickness uniformity |
| Auteur: |
Hong, Seungbum Kim, Eunah Jiang, Zhong-Tao Bae, Byeong-Soo No, Kwangsoo Lim, Sung-Chul Woo, Sang-Gyun Koh, Young-Bum |
| Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
| Paginering: | Jaargang 45 (1997) nr. 1-3 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
1997 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science S.A. All rights reserved. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 34 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |