|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 20 van 54 gevonden artikelen
| Titel: |
Experimental and theoretical investigation of the influence of carrageenan-polyvinyl pyrrolidone combination on the chemical mechanical polishing of TSV Ta barrier layers |
| Auteur: |
Liang, Zhe Wang, Ru Zhu, Yu Chen, Xuhua Du, Zhanjie Zheng, Tao Dong, Yanwei Chen, Yang Yang, Peng Shi, Yunhui |
| Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
| Paginering: | Jaargang 320 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2025 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 20 van 54 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |