Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
   volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 1 van 45 gevonden artikelen
 
 
  ALD and PEALD deposition of HfO2 and its effects on the nature of oxygen vacancies
 
 
Titel: ALD and PEALD deposition of HfO2 and its effects on the nature of oxygen vacancies
Auteur: Martínez-Puente, M.A.
Horley, P.
Aguirre-Tostado, F.S.
López-Medina, J.
Borbón-Nuñez, H.A.
Tiznado, H.
Susarrey-Arce, A.
Martínez-Guerra, E.
Verschenen in: Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology
Paginering: Jaargang 285 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2022
Inhoud:
Uitgever: The Author(s)
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 1 van 45 gevonden artikelen
 
   volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland