|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 76 van 83 gevonden artikelen
| Titel: |
Synergist effect of potassium periodate and potassium persulfate on improving removal rate of Ruthenium during chemical mechanical polishing |
| Auteur: |
Wang, Chao Zhou, Jianwei Luo, Chong Wang, Chenwei Zhang, Xue |
| Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
| Paginering: | Jaargang 262 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2020 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 76 van 83 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |