|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 31 van 38 gevonden artikelen
| Titel: |
Non-destructive characterization of nitrogen-implanted silicon-on-insulator structures by spectroscopic ellipsometry |
| Auteur: |
Fried, M. Lohner, T. De Nijs, J.M.M. Van Silfhout, A. Hanekamp, L.J. Khanh, N.Q. Laczik, Z. Gyulai, J. |
| Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
| Paginering: | Jaargang 2 (1989) nr. 1-3 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
1989 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 31 van 38 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |