|
Design study of high energy, high current, R.F. accelerators for ion implantation |
|
|
|
Titel: |
Design study of high energy, high current, R.F. accelerators for ion implantation |
Auteur: |
Thomae, R.W. Deitinghoff, H. Häuser, J. Klein, H. Leipe, P. Schempp, A. Weis, T. Bannenberg, J. Urbanus, W. Wojke, R. van Amersfoort, P.W. |
Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
Paginering: |
Jaargang 2 (1989) nr. 1-3 pagina's 5 p. |
Jaar: |
1989 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|