|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 15 gevonden artikelen
| Titel: |
Features of buried dielectric layers: ion beam synthesis in silicon by a high temperature sequential oxygen and nitrogen implantation with substoichiometric doses |
| Auteur: |
Charni, L.A. Danilin, A.B. Drakin, K.A. Malinin, A.A. Parkhomenko, Yu.N. Petrov, A.F. Vyletalina, O.I. |
| Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
| Paginering: | Jaargang 15 (1992) nr. 3 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
1992 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 15 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |