|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 15 gevonden artikelen
| Titel: |
AlN thin films prepared by plasma-enhanced chemical vapour deposition |
| Auteur: |
Lee, C.H. Wu, C.T. Peung, C.Y. |
| Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
| Paginering: | Jaargang 15 (1992) nr. 3 pagina's 8 p. |
| Jaar: |
1992 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 15 gevonden artikelen
| volgende >> |