|
The role of extended defects on transient boron diffusion in ion-implanted silicon |
|
|
|
Titel: |
The role of extended defects on transient boron diffusion in ion-implanted silicon |
Auteur: |
Schreutelkamp, R.J. Custer, J.S. Raineri, V. Lu, W.X. Liefting, J.R. Saris, F.W. Janssen, K.T.F. van der Meulen, P.F.H.M. Kaim, R.E. |
Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
Paginering: |
Jaargang 12 (1992) nr. 4 pagina's 19 p. |
Jaar: |
1992 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|