|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 68 gevonden artikelen
| Titel: |
Agglomeration characteristic of particles in alumina slurry by addition of chemicals and milling process for Cu CMP |
| Auteur: |
Choi, Min-Ho Kim, Nam-Hoon Lim, Jong-Heun Kim, Sang-Yong Chang, Eui-Goo |
| Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
| Paginering: | Jaargang 118 (2005) nr. 1-3 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 68 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |