|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 19 van 19 gevonden artikelen
| Titel: |
Ultra shallow and abrupt n+–p junction formations on silicon-on-insulator by solid phase diffusion of arsenic from spin-on-dopant for sub 50nm Si metal-oxide-semiconductor devices |
| Auteur: |
Oh, Jihun Im, Kiju Ahn, Chang-Geun Yang, Jong-Heon Cho, Won-ju Lee, Seongjae Park, Kyoungwan |
| Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
| Paginering: | Jaargang 110 (2004) nr. 2 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 19 van 19 gevonden artikelen
| << vorige |