|
Growth and properties of CVD-SiC layers using tetramethylsilane |
|
|
|
Titel: |
Growth and properties of CVD-SiC layers using tetramethylsilane |
Auteur: |
Figueras, A. Garelik, S. Santiso, J. Rodriguez-Clemente, R. Armas, B. Combescure, C. Berjoan, R. Saurel, J.M. Caplain, R. |
Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
Paginering: |
Jaargang 11 (1992) nr. 1-4 pagina's 5 p. |
Jaar: |
1992 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|