|
Low-temperature strain relaxation in SiGe/Si heterostructures implanted with Ge+ ions |
|
|
|
Titel: |
Low-temperature strain relaxation in SiGe/Si heterostructures implanted with Ge+ ions |
Auteur: |
Avrutin, V.S. Izyumskaya, N.F. Vyatkin, A.F. Zinenko, V.I. Agafonov, Yu.A. Irzhak, D.V. Roshchupkin, D.V. Steinman, E.A. Vdovin, V.I. Yugova, T.G. |
Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
Paginering: |
Jaargang 100 (2003) nr. 1 pagina's 5 p. |
Jaar: |
2003 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|