|
Plasma and particle flux characterization of the a-C:H deposition process by ion-assisted methods |
|
|
|
Titel: |
Plasma and particle flux characterization of the a-C:H deposition process by ion-assisted methods |
Auteur: |
Schaarschmidt, G. Scholze, F. Porsch, S. Wolf, F. Wallendorf, T. Scharff, W. Gerber, J. Kleber, R. Dworschak, W. Krüger, A. Jung, K. Ehrhardt, H. |
Verschenen in: |
Materials science and engineering. A, Structural materials: properties, microstructure and processing |
Paginering: |
Jaargang 140 (1991) nr. C pagina's 7 p. |
Jaar: |
1991 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|