|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 53 van 70 gevonden artikelen
| Titel: |
Spectroscopic investigation of N2H2ArTiCl4-assisted chemical vapour deposition discharge for plasma of TiN |
| Auteur: |
Rie, K.-T. Wöhle, J. |
| Verschenen in: |
Materials science and engineering. A, Structural materials: properties, microstructure and processing |
| Paginering: | Jaargang 139 (1991) nr. C pagina's 4 p. |
| Jaar: |
1991 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 53 van 70 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |
Toegankelijkheidsverklaring