|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 23 van 117 gevonden artikelen
| Titel: |
Corrosion inhibitors in H2O2 system slurry for Ru based barrier layer Cu interconnect chemical mechanical polishing and optimization |
| Auteur: |
Zhao, Jiadong Wang, Fangyuan Xu, Yi Tan, Baimei Zhao, Xinyu Zhang, Shihao Han, Xinyu Liu, Renhao |
| Verschenen in: |
Colloids and surfaces. A, Physicochemical and engineering aspects |
| Paginering: | Jaargang 703 () nr. P2 pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 23 van 117 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |