|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 54 gevonden artikelen
| Titel: |
Characterization and control of energetic deposits from hexachlorodisilane in process tool exhaust lines |
| Auteur: |
Nguyen, Thanh-Trung Lin, Yu-Jhen Chin, Mo-Geng Wang, Cheng-Chieh Tsai, Hsiao-Yun Chen, Jenq-Renn Ngai, Eugene Y. Chacon, Jennyfer Franzi, Albert Fifield, Christian Baylor, Jason Marci, John Bitner, Justin Prettyman, Kevin M. Ferrera, Nicholas Jordon, William Szekeres, Trevor |
| Verschenen in: |
Journal of loss prevention in the process industries |
| Paginering: | Jaargang 65 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2020 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 54 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |