|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 17 gevonden artikelen
| Titel: |
Surfactant-aided supercritical carbon dioxide drying for photoresists to prevent pattern collapse |
| Auteur: |
Lee, Min Young Do, Kyung Min Ganapathy, Hullathy Subban Lo, Young Seop Kim, Ju Jin Choi, Sang Jun Lim, Kwon Taek |
| Verschenen in: |
The Journal of supercritical fluids |
| Paginering: | Jaargang 42 (2007) nr. 1 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 17 gevonden artikelen
| << vorige |