|
Vapor phase treatment–total reflection X-ray fluorescence for trace elemental analysis of silicon wafer surface |
|
|
|
Titel: |
Vapor phase treatment–total reflection X-ray fluorescence for trace elemental analysis of silicon wafer surface |
Auteur: |
Takahara, Hikari Mori, Yoshihiro Shibata, Harumi Shimazaki, Ayako Shabani, Mohammad B. Yamagami, Motoyuki Yabumoto, Norikuni Nishihagi, Kazuo Gohshi, Yohichi |
Verschenen in: |
Spectrochimica acta. Part B, Atomic spectroscopy |
Paginering: |
Jaargang 90 (2013) nr. C pagina's 11 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|