|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 29 gevonden artikelen
| Titel: |
Comparison of direct-total-reflection X-ray fluorescence, sweeping-total-reflection X-ray fluorescence and vapor phase decomposition-total-reflection X-ray fluorescence applied to the characterization of metallic contamination on semiconductor wafers |
| Auteur: |
Danel, Adrien Cabuil, Nicolas Lardin, Thierry Despois, Dominique Veillerot, Marc Geoffroy, Charles Yamagami, Motoyuki Kohno, Hiroshi |
| Verschenen in: |
Spectrochimica acta. Part B, Atomic spectroscopy |
| Paginering: | Jaargang 63 (2008) nr. 12 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2008 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 29 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |