|
Vapor phase decomposition–droplet collection–total reflection X-ray fluorescence spectrometry for metallic contamination analysis on Ge wafers |
|
|
|
Titel: |
Vapor phase decomposition–droplet collection–total reflection X-ray fluorescence spectrometry for metallic contamination analysis on Ge wafers |
Auteur: |
Hellin, D. Geens, V. Teerlinck, I. Van Steenbergen, J. Rip, J. Laureyn, W. Raskin, G. Mertens, P.W. De Gendt, S. Vinckier, C. |
Verschenen in: |
Spectrochimica acta. Part B, Atomic spectroscopy |
Paginering: |
Jaargang 60 (2005) nr. 2 pagina's 5 p. |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|