|
Analysis of trace metals in thin silicon nitride films by total-reflection X-ray fluorescence |
|
|
|
Titel: |
Analysis of trace metals in thin silicon nitride films by total-reflection X-ray fluorescence |
Auteur: |
Vereecke, G. Arnauts, S. Van Doorne, P. Kenis, K. Onsia, B. Verstraeten, K. Schaekers, M. Van Hoeymissen, J.A.B. Heyns, M.M. |
Verschenen in: |
Spectrochimica acta. Part B, Atomic spectroscopy |
Paginering: |
Jaargang 56 (2001) nr. 11 pagina's 10 p. |
Jaar: |
2001 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|