|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 20 van 41 gevonden artikelen
| Titel: |
Effective thermo-electric-mechanical modeling of capacitively coupled plasma in low-pressure conditions: Modeling and application in dry etching |
| Auteur: |
Sim, Jin-Woo Kim, Tae-Hyun Kang, Nayoon Lee, Hae June Lee, Eun-Ho |
| Verschenen in: |
Applied mathematical modelling |
| Paginering: | Jaargang 127 () nr. C pagina's 32-59 |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 20 van 41 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |