|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 13 gevonden artikelen
| Titel: |
Study of chucking force distribution according to substrate pattern and deformation characteristics of electrostatic chuck for deposition |
| Auteur: |
Kim, Seong Bin Kim, Ju Hye Min, Dong Kyun |
| Verschenen in: |
Journal of electrostatics |
| Paginering: | Jaargang 133 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2025 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 13 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |