|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 15 gevonden artikelen
| Titel: |
Characterization of film materials in wafer processing technology development by XPS |
| Auteur: |
Saheli, Ghazal Liu, Wei Lazik, Christopher Uritsky, Yuri Bevan, Malcolm Tang, Wei Ma, Paul Venkatasubramanian, Eswaranand Bobek, Sarah Kulshreshtha, Prashant Brundle, C.R. |
| Verschenen in: |
Journal of electron spectroscopy and related phenomena |
| Paginering: | Jaargang 231 (2019) nr. C pagina's 57-67 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 15 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |