|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 32 van 36 gevonden artikelen
| Titel: |
The impact of diamond conditioners on scratch formation during chemical mechanical planarization (CMP) of silicon dioxide |
| Auteur: |
Kwon, Tae-Young Ramachandran, Manivannan Cho, Byoung-Jun Busnaina, Ahmed A. Park, Jin-Goo |
| Verschenen in: |
Tribology international |
| Paginering: | Jaargang 67 (2013) nr. C pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 32 van 36 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |