|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 21 van 95 gevonden artikelen
| Titel: |
Effects of organic compounds rich in phosphate functional groups as multifunctional inhibitors on copper film chemical-mechanical polishing properties: Combined experiment and theoretical calculation |
| Auteur: |
Dong, Changxin Niu, Xinhuan He, Chao Li, Xinjie Wu, Zheng Li, Jiahui Hu, Bin Shi, Yunhui Cheng, Jiabao Luan, Xiaodong |
| Verschenen in: |
Tribology international |
| Paginering: | Jaargang 201 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2025 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 21 van 95 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |