|
Modelling of polyurethane polishing pad surface topography and fixed-point polished surface profile |
|
|
|
Titel: |
Modelling of polyurethane polishing pad surface topography and fixed-point polished surface profile |
Auteur: |
Wang, Zhao Wang, Zixuan Liang, Yingdong Meng, Fanwei Cui, Zhijie Chen, Tao Yang, Yue Fan, Cheng Yu, Tianbiao Zhao, Ji |
Verschenen in: |
Tribology international |
Paginering: |
Jaargang 195 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|