|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 63 van 112 gevonden artikelen
| Titel: |
Micro-scratches generation mechanism by copper oxides adhered on silica abrasive in copper chemical mechanical polishing |
| Auteur: |
Chen, Yushan Jiang, Liang Qian, Linmao |
| Verschenen in: |
Tribology international |
| Paginering: | Jaargang 194 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 63 van 112 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |