Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 39 van 92 gevonden artikelen
 
 
  Galvanodynamic probing of tribologically assisted material removal under chemical control: A cobalt/copper case study for application in chemical mechanical planarization
 
 
Titel: Galvanodynamic probing of tribologically assisted material removal under chemical control: A cobalt/copper case study for application in chemical mechanical planarization
Auteur: Wei, S.
Roy, D.
Verschenen in: Tribology international
Paginering: Jaargang 179 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2023
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 39 van 92 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland