|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 29 van 50 gevonden artikelen
| Titel: |
Impact of different stochastic line edge roughness patterns on measurements in scatterometry - A simulation study |
| Auteur: |
Gross, H. Heidenreich, S. Bär, M. |
| Verschenen in: |
Measurement |
| Paginering: | Jaargang 98 (2017) nr. C pagina's 339-346 |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 29 van 50 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |