|
Atomic Layer Deposition (ALD) grown thin films for ultra-fine pitch pixel detectors |
|
|
|
Titel: |
Atomic Layer Deposition (ALD) grown thin films for ultra-fine pitch pixel detectors |
Auteur: |
Härkönen, J. Ott, J. Mäkelä, M. Arsenovich, T. Gädda, A. Peltola, T. Tuovinen, E. Luukka, P. Tuominen, E. Junkes, A. Niinistö, J. Ritala, M. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
Paginering: |
Jaargang 831 (2016) nr. C pagina's 5 p. |
Jaar: |
2016 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|