|
Facility for simultaneous dual-beam ion implantation |
|
|
|
Titel: |
Facility for simultaneous dual-beam ion implantation |
Auteur: |
Kaschny, J.R. Kögler, R. Tyrrof, H. Bürger, W. Eichhorn, F. Mücklich, A. Serre, C. Skorupa, W. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
Paginering: |
Jaargang 551 (2005) nr. 2-3 pagina's 8 p. |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|