|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 64 van 85 gevonden artikelen
| Titel: |
Study of the structure and phase composition of nanocrystalline silicon oxynitride films synthesized by ICP-CVD |
| Auteur: |
Fainer, N.I. Kosinova, M.L. Maximovsky, E.A. Rumyantsev, Yu.M. Kuznetsov, F.A. Kesler, V.G. Kirienko, V.V. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
| Paginering: | Jaargang 543 (2005) nr. 1 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 64 van 85 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |