|
Fabrication of PIN diode detectors on thinned silicon wafers |
|
|
|
Titel: |
Fabrication of PIN diode detectors on thinned silicon wafers |
Auteur: |
Ronchin, Sabina Boscardin, Maurizio Dalla Betta, Gian-Franco Gregori, Paolo Guarnieri, Vittorio Piemonte, Claudio Zorzi, Nicola |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
Paginering: |
Jaargang 530 (2004) nr. 1-2 pagina's 5 p. |
Jaar: |
2004 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|