|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 55 van 102 gevonden artikelen
| Titel: |
PMMA-based resists for a spectral range near 13nm |
| Auteur: |
Bulgakova, S.A Lopatin, A.Ya Luchin, V.I Mazanova, L.M Molodnjakov, S.A Salashchenko, N.N |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
| Paginering: | Jaargang 448 (2000) nr. 1-2 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2000 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 55 van 102 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |