|
TXRF with synchrotron radiation Analysis of Ni on Si-wafer surfaces |
|
|
|
Titel: |
TXRF with synchrotron radiation Analysis of Ni on Si-wafer surfaces |
Auteur: |
Wobrauschek, P. Kregsamer, P. Ladisich, W. Streli, C. Pahlke, S. Fabry, L. Garbe, S. Haller, M. Knöchel, A. Radtke, M. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
Paginering: |
Jaargang 363 (1995) nr. 3 pagina's 2 p. |
Jaar: |
1995 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|