|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 61 van 88 gevonden artikelen
| Titel: |
On the research of a post-lens deflector for a submicrometer lithography system |
| Auteur: |
Sheng Xia, Ding Shou-qian, Sun Jie, |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
| Paginering: | Jaargang 363 (1995) nr. 1-2 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
1995 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 61 van 88 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |