|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 34 van 88 gevonden artikelen
| Titel: |
Electron beam writing and direct processing system for nanolithography |
| Auteur: |
Hiroshima, H. Okayama, S. Ogura, M. Komuro, M. Nakazawa, H. Nakagawa, Y. Ohi, K. Tanaka, K. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
| Paginering: | Jaargang 363 (1995) nr. 1-2 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
1995 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 34 van 88 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |