|
Ion-implanted silicon detectors processed on a 100 mm wafer |
|
|
|
Titel: |
Ion-implanted silicon detectors processed on a 100 mm wafer |
Auteur: |
Hietanen, Iiro Lindgren, Jukka Orava, Risto Tuuva, Tuure Brenner, Richard Andersson, Mikael Leinonen, Kari Ronkainen, Hannu |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
Paginering: |
Jaargang 301 (1991) nr. 1 pagina's 5 p. |
Jaar: |
1991 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|