|
3D integration technologies for custom SiPM: From BSI to TSV interconnections |
|
|
|
Titel: |
3D integration technologies for custom SiPM: From BSI to TSV interconnections |
Auteur: |
Parellada-Monreal, L. Acerbi, F. Ficorella, A. Franzoi, A. Gola, A. Merzi, S. Nawaz, A. Ruzzarin, M. Paternoster, G. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
Paginering: |
Jaargang 1049 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2023 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|