|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 40 van 51 gevonden artikelen
| Titel: |
“Spiral COSAMI” — A Multi-Undulator Compact Source for Actinic Mask Inspection in the extreme ultraviolet range |
| Auteur: |
Wrulich, Albin F. Streun, Andreas Rivkin, Leonid |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
| Paginering: | Jaargang 1014 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2021 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 40 van 51 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |