|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 60 van 73 gevonden artikelen
| Titel: |
Process optimisation for direct formation of device worthy thin film SIMOX structures using 90 keV oxygen implantation |
| Auteur: |
Nejim, A. Li, Y. Marsh, C.D. Hemment, P.L.F. Chater, R.J. Kilner, J.A. Giles, L.F. Booker, G.R. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 74 (1993) nr. 1-2 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
1993 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 60 van 73 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |