|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 73 gevonden artikelen
| Titel: |
Al metallization by cluster beam and physical vapor deposition on heavily implanted Si(100) surfaces |
| Auteur: |
Current, Michael I. Wada, S. Akedo, K. Yamada, T. Takaoka, G.H. Yamada, I. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 74 (1993) nr. 1-2 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
1993 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 73 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |