|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 18 van 73 gevonden artikelen
| Titel: |
Damage and its rapid thermal annealing kinetics in Ar+ ion implanted Cz silicon |
| Auteur: |
Hahn, S. Hara, T. Maekawa, T. Satoh, N. Kwon, Y.-K. Kim, K.-I. Bae, Y.-H. Chung, W.-J. McIntyre, E.K. Smith, W.L. Larson, L. Meinecke, R. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 74 (1993) nr. 1-2 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
1993 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 18 van 73 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |